机译:CF 2的紫外线吸收光谱用于确定等离子蚀刻反应器中空间分辨的绝对CF 2密度,旋转温度和振动分布
机译:使用CF_2的紫外线吸收光谱确定等离子蚀刻反应器中空间分辨的绝对CF_2密度,旋转温度和振动分布
机译:使用循环C_4F_8 / N_2 / Ar气的直流叠加双频等离子刻蚀反应堆中电子,CF和CF_2自由基密度和气体温度的空间分布
机译:CF A(2)Sigma(+)-X(2)Pi和B-2 Delta-X(2)Pi通过等离子蚀刻反应器中的宽带吸收光谱研究:跃迁概率,CF X-2 Pi浓度和气体温度
机译:使用红外二极管激光吸收光谱和激光诱导的荧光测量等离子体反应器中绝对CF / sub x /自由基密度的空间分布
机译:皮秒相干反斯托克斯拉曼散射光谱研究非平衡等离子体中的氮振动分布函数和旋转翻译温度。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:利用CF2的紫外吸收光谱确定等离子体蚀刻反应器中空间分辨的绝对CF2密度,旋转温度和振动分布
机译:来自紫外吸收光谱的CF2N2的振动基础